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扫描电子显微镜
时间:2018/5/6 浏览次数:5887 责编:sxnuyy 来源:sxnuyy
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扫描电子显微镜

实验室名称:扫描电镜室

安装地点:实验楼104

仪器型号:JSM-7500F

生产单位:日本电子公司

安装时间:2009.12

仪管员:杨瑞林

(一)仪器简介:

JSM-7500F场发射扫描电子显微镜,配备背散射电子探测器、二次电子探测器。配备英国牛津的INCA PentaFETx3X射线能谱仪。

(二)性能指标:

1.分辨率:1.0nm(15KV),1.4nm(1KV)

2.放大倍数: 25X500,000X

3.样品台:全自动控制。可在XYZ三向移动,可倾斜,可旋转;

4.能谱仪能量分辨率137eV,分析元素范围B5-U92,可做点分析、线分析、选区分析以及Mapping

(三)应用范围:

1.利用二次电子探测器观察固体材料的显微形貌。

2.利用X射线能谱仪分析未知固体材料的元素组成。

3.利用背散射电子探测器、配合X射线能谱仪确定固体材料的物相结构及每相的元素组成。

(四)来样须知:

1.固体材料必须干净、充分干燥、性质稳定,不含挥发性物质,无强磁性;做定性分析的粉末材料,最好压片。

2. 提前与仪管员沟通实验材料的性质、是否导电、需要喷碳还是喷金、测试目的,便于仪管员确定实验条件以及制样条件。

3.送样时,须交送样单。送样单从共享平台下载。



     
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