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X 射线光电子能谱仪
时间:2018/10/31 浏览次数:10494 责编:赵海军 来源:admin
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仪器简介:

Thermo K-Alpha+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 系统是一种完全集成式单色小光斑 XPS 系统,具备深度剖析能力。将高性能单色化 XPS 和溅射深度剖析与智能自动化和直观控制结合在一起。X射线光电子能谱不仅能测定表面的组成元素,而且还能给出各元素的化学状态信息。

仪器型号:赛默飞世尔K-Alpha+

安装日期:2018.6.26

仪器房间号:106

仪管员:杨瑞林

二.性能指标:

1. 分辨率及灵敏度

1.1 能量分辨率≤0.5 eV(对Ag3d5/2峰的半高宽,干净的银标样);

1.2在束斑大小为400μm且光源功率<72 W的实验条件下,当Ag3d5/2峰的半高宽≤1.0eV时,计数率≥4,000,000 cps

2.能量分析器

2.1 能量扫描范围5eV-1500eV,最小能量步长3meV

2.2 通过能为1-400eV,连续可调

3 微聚焦单色化(Al KαX射线源

3.1最小聚焦获得束斑≤30 µm

3.2束斑面积从30μm400μm聚焦连续可调,步长不超过5µm

4 真空系统:分析室极限真空度,应优于5×10-9 mbar(无液氮冷肼辅助);

5 离子枪

5.1能量范围:100-4000 eV

5.2 最大束流:4 µA

5.3离子能量3 keV,束流3.5 µA时束斑不大于500 µm

5.4 离子束可控轴向旋转;

5.5 束斑可调,自动对中。

6 自动化电荷中和源

6.1 离子和电子双束混合中和源;

6.2 自动可控。

7 角分辨XPS

7.1 精控步进马达样品托,角度分辨优于

7.2 软件内置角分辨XPS数据处理功能,并能实现膜厚计算等功能。

8 XPS能谱/成像去卷积功能

8.1 XPS能谱去卷积功能,实现高通过能下快速获取高能量分辨谱图;

8.2 XPS成像去卷积功能,实现高通过能下快速获取高质量的XPS成像。

三.应用范围:

X射线光电子能谱仪主要对固体表面的成分进行表征,深度刻蚀薄膜样品,包括各种粉末材料、高分子材料、物理薄膜以及锂电池材料、新型光电材料、功能材料、陶瓷、玻璃、高分子聚合物、金属、半导体以及各种薄膜等研究领域。

四.来样须知:

送样时需提供送样单,每个测样单最多5个样,自己制样。

XPS测试样品要求

 

请务必保证样品满足如下要求:

样品已经过真空干燥处理;

样品在真空和高真空下不易挥发;

样品不含腐蚀性物质;

样品不含磁性物质;

样品不含结晶水,且样品本身不具有吸水性;

样品非易燃易爆品。

若样品为若磁性或含有有机小分子物质,请务必提前告知。

 

 

送样注意事项

 

各位老师、同学:

请大家送样前务必确认样品的性质,确保所送样品符合本实验室规定,尤其注意在真空或高真空下易挥发的和带磁性的样品!若有这类样品要做XPS测试,请务必告知,以便确认是否可以上机测试。若违反本实验室相关规定,对仪器本身和实验室造成损害概由送样人负责!

希望大家支持和理解!



     
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